Tytanowy obrotowy cylinder tarczowy

Jest to składnik stosowany w procesach fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), czyli metoda osadzania cienkich warstw materiału na podłożu. Cel rurki tytanowej jest wykonany z czystego tytanu i ma kształt cylindra, który obraca się podczas procesu PVD.

Proces PVD polega na użyciu łuku elektrycznego lub rozpylania magnetronowego w celu odparowania materiału docelowego, w tym przypadku tytanu, i osadzeniu go jako cienkiej warstwy na podłożu. Obracający się cylindryczny cel umożliwia bardziej równomierne osadzanie warstwy tytanowej na podłożu.

Korzyści wynikające z zastosowania w procesach PVD obejmują wysoką czystość osadzonej warstwy, wysoką szybkość osadzania i ulepszoną przyczepność warstwy. Tytanowe tarcze obrotowe do rozpylania magnetronowego są wykonane z wysokiej jakości materiału tytanowego i są zaprojektowane tak, aby wytrzymać wysokie temperatury i naprężenia mechaniczne podczas procesu PVD.

Wprowadzenie do specyfikacji

Typ rozmiaru normalnego:

Nasza przewaga

Dostarczane przez nas cele tytanowe mają małe ziarna, równomierny rozkład, wysoką czystość, niewiele inkluzji i wysoką czystość. Osadzona powłoka TiN jest stosowana w dekoracjach, narzędziach, półprzewodnikach i innych dziedzinach, z dobrą przyczepnością, równomierną powłoką i jasnymi kolorami.

--Czystość

Aby wyprodukować kwalifikowany cel rozpylania tytanu, czystość jest jednym z jego ważnych wskaźników wydajności. Czystość celu tytanowego ma duży wpływ na wydajność powłoki rozpylania. Im wyższa czystość celu tytanowego, tym mniej cząstek zanieczyszczeń w rozpylanej warstwie tytanowej, co skutkuje lepszą wydajnością powłoki PVD, w tym lepszą odpornością na korozję oraz właściwościami elektrycznymi i optycznymi. Jednak w praktycznych zastosowaniach cele tytanowe do różnych celów mają różne wymagania dotyczące czystości. Materiał celu jest używany jako źródło katody w rozpylaniu, a elementy zanieczyszczeń i wtrącenia porowatości w materiale są głównymi źródłami zanieczyszczeń osadzonej warstwy. Wtrącenia porowatości zostaną zasadniczo usunięte podczas nieniszczącego badania wlewka, a wtrącenia porowatości, które nie zostaną usunięte, spowodują wyładowanie podczas procesu rozpylania, wpływając tym samym na jakość warstwy; zawartość zanieczyszczeń może być odzwierciedlona jedynie w wynikach testów pełnej analizy pierwiastków, im niższa całkowita zawartość zanieczyszczeń, tym wyższa czystość celu tytanowego.

--Gęstość

Gęstość jest również ważnym czynnikiem w pomiarze jakości targetów tytanowych. Aby zmniejszyć porowatość w stałym targetzie i poprawić wydajność rozpylonej folii, target musi mieć zazwyczaj większą gęstość.

Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne filmu. Im wyższa gęstość celu, tym lepsze parametry filmu. Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu pozwala celowi lepiej znosić naprężenia termiczne podczas rozpylania. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.

--Wielkość cząstek i ich rozkład

Zazwyczaj cele rozpylania to struktury polikrystaliczne o wielkości ziarna rzędu kilku mikrometrów do kilku milimetrów. W przypadku tego samego celu, im mniejszy rozmiar cząstek celu, tym szybsza prędkość rozpylania celu; ponadto cel o mniejszej różnicy wielkości cząstek może rozpylać film o bardziej jednolitej grubości. Badanie wykazało, że jeśli rozmiar ziarna celu tytanowego jest kontrolowany poniżej 100 μm, a zmienność rozmiaru ziarna jest utrzymywana w granicach 20%, jakość rozpylanego filmu może zostać znacznie poprawiona.

--orientacja krystalograficzna

Tytan ma gęsto upakowaną strukturę heksagonalną. Ponieważ atomy tarczy tytanowej są łatwo rozpylane wzdłuż heksagonalnego, gęsto upakowanego kierunku atomów podczas rozpylania, w celu uzyskania wyższej szybkości rozpylania, strukturę krystaliczną tarczy można zmienić, zmieniając metodę, aby zwiększyć szybkość rozpylania. Kierunek krystalograficzny tarczy tytanowej ma również duży wpływ na jednorodność grubości rozpylanej warstwy.

--Jednolitość strukturalna

Jednorodność strukturalna jest również jednym z ważnych wskaźników do badania jakości celu. W przypadku celów tytanowych wymagana jest nie tylko płaszczyzna rozpylania celu, ale także skład kierunku normalnego, orientacja ziarna i średnia jednorodność wielkości ziarna płaszczyzny rozpylania. Tylko w ten sposób cel tytanowy może uzyskać powłokę tytanową o równomiernej grubości, niezawodnej jakości i stałej wielkości ziarna w tym samym czasie przez cały okres eksploatacji.

Przypadek specyfikacji

Prędkość obrotowa: Cel powinien być w stanie obracać się z prędkością do kilku tysięcy obrotów na minutę, aby uzyskać bardziej równomierną szybkość osadzania i wydłużyć żywotność celu.

Chłodzenie: Rurka tytanowa powinna być chłodzona wodą, aby rozproszyć ciepło wytwarzane podczas procesu osadzania i zapobiec uszkodzeniu tarczy.
Płyta tylna: Płyta tylna wykonana z tytanu jest zazwyczaj używana do podtrzymywania obracającego się cylindra i zapewniania kontaktu elektrycznego.
Metoda łączenia: Cel jest zazwyczaj łączony z płytą podkładową za pomocą łączenia dyfuzyjnego lub innych metod łączenia o wysokiej wytrzymałości, co zapewnia dobrą przewodność cieplną i elektryczną.
Czystość: Tytanowe tarcze obrotowe do rozpylania magnetronowego powinny mieć wysoki poziom czystości, aby zminimalizować zanieczyszczenia w osadzonych warstwach i zapewnić stałą wydajność. Poziom zanieczyszczeń powinien być mniejszy niż 1000 części na milion (ppm) w przypadku większości zastosowań.

Ogólnie rzecz biorąc, specyfikacje tarczy wirującego cylindra tytanowego będą się różnić w zależności od konkretnych wymagań danego zastosowania, a tarczę można dostosować do tych potrzeb.

Popularne Tagi: Tytanowe tarcze obrotowe do rozpylania magnetronowego, tarcza rurowa z tytanu